Электронный каталог

Статья

Судник, Л.В.
Особенности формирования структуры силицидно-оксидных резистивных сплавов при импульсном прессовании / Л.В. Судник, А.Ф. Ильющенко [и др.] // Технология металлов. – 2023. – № 7. – С. 2-7: ил. - Библиогр.: 4 назв.

Результаты исследований процесса получения мишеней из силицидно-оксидных резистивных материалов для установок магнетронного распыления с использованием методов импульсного прессования порошков.



Ключевые слова РП = напыление вакуумное термическое
Ключевые слова РП = прессование импульсное
Ключевые слова = МЕТАЛЛОВЕДЕНИЕ