Электронный каталог

Статья

Новак, А.
Характеристики кремниевых кантилеверов для атомно-силовой микроскопии компании АО "Ангстрем" / Новак А., Соколов А., Ковалев В. // Электроника: наука, технология, бизнес (электронная версия). – 2023. – №2. – С.78-86. - 595025. – На рус. яз.

Атомно-силовая микроскопия (АСМ), представляющая собой метод неоптической визуализации с высоким пространственным разрешением, позволяющий проводить точные и неразрушающие измерения топографических, электрических, магнитных, химических, оптических, механических и других свойств поверхности образца с очень высоким разрешением в воздухе, жидкостях или сверхвысоком вакууме. Это уникальное сочетание возможностей делает АСМ незаменимым в самых передовых научных и технологических лабораториях по всему миру. Результаты измерения основных параметров кремниевых кантилеверов производства АО "Ангстрем", предназначенных для работы в полуконтактном и контактном режимах АСМ, а также АСМ-изображения различных образцов, полученные при помощи этих кантилеверов.


Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = КРЕМНИЙ
Ключевые слова = НАНОЧАСТИЦА
Ключевые слова = НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = МИКРОСКОПИЯ
Ключевые слова = ИЗМЕРЕНИЕ
Ключевые слова = НАНОМАТЕРИАЛЫ
Ключевые слова = Статьи из периодических изданий. 2023 год.