Электронный каталог -Набокова, Е. - Струи в вакууме - решение для микроэлектроники- Absopac

Поиск :

Разделы фонда

Справочники

Личный кабинет :

Электронный каталог: Набокова, Е. - Струи в вакууме - решение для микроэлектроники

Набокова, Е. - Струи в вакууме - решение для микроэлектроники

Нет экз.

Статья
Автор: Набокова, Е.
Электроника: наука, технология, бизнес (электронная версия): Струи в вакууме - решение для микроэлектроники
2022 г.
ISBN отсутствует

На полку

Статья

Набокова, Е.
Струи в вакууме - решение для микроэлектроники / Набокова Е. // Электроника: наука, технология, бизнес (электронная версия). – 2022. – №7. – С.134-138. - 586144. – На рус. яз.

Установка струйной отмывки в вакууме УСОТП 1, разработанная НПП "ПРОТОН", предназначена для технологической обработки (отмывки, ополаскивания, сушки) полупроводниковых пластин, с использованием уникальной российской технологии - "Струи в вакууме". Гидравлическая схема установки УСОТП 1. Технические характеристики УСОТП 1. Функциональные возможности установки. Конструктивные особенности.

Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = Статьи из периодических изданий. 2022 год.

Электронный каталог