Электронный каталог

Статья

Непочатов, Ю.
Изготовление ГИС СВЧ на алюмонитридных подложках со сквозными отверстиями, заполненными поликристаллическим алмазом / Непочатов Ю., Свинаренко В., Белашов И. // Современная электроника (электронная версия). – 2020. – №5. – С.14-22. - 544868. – На рус. яз.

Результаты разработки технологии изготовления гибридных интегральных схем СВЧ-диапазона (ГИС СВЧ) на подложке из алюмонитридной керамики с отверстиями, заполненными поликристаллическим алмазом. Полученная подложка может найти применение в СВЧ-микроэлектронике при создании мощных диодов, транзисторов из нитрида и арсенида галлия и устройств на их основе. С увеличением мощности полупроводниковых приборов СВЧ, требующих эффективного рассеяния тепла, возникает необходимость использования материалов с высокой теплопроводностью. Такими материалами являются оксид бериллия, нитрид алюминия и алмаз.


Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Ключевые слова = ТИПОГРАФИЯ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = ЭКОНОМИКА ПРОМЫШЛЕННОСТИ, ТРАНСПОРТА И СВЯЗИ
Новые поступления и ретрофонд = Статьи из периодических изданий. 2020 год.