Электронный каталог

Книга
621.3 В75

Воротынцев, В.М.
Базовые технологии микро- и наноэлектроники: учеб. пособие / В.М. Воротынцев, В.Д. Скупов; кол.авт. Нижегород. гос. техн. ун-т им. Р.Е. Алексеева. – М.: Проспект, 2019. – 519 с.: граф., схем., табл. - Библиогр. в конце гл. – На рус. яз. - ISBN 9785392303083.

Физико-химические основы технологических процессов получения высокочистых веществ и материалов для электронной техники. Технология абразивной и химической обработки полупроводниковых подложек. Базовые технологии формирования приборных структур. Структура «кремний на диэлектрике» и технологические методы их изготовления. Физические и технологические основы наноэлектроники. Структурные дефекты в материалах – компонентах приборных композиций.

621.38(075) : Учебники по электронике в целом

Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ - 62, 621, 626, 627, 628, 66, 67
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
Ключевые слова = ТЕХНИКА
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = ХИМИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА
Ключевые слова = НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = НАУЧНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПОТЕНЦИАЛ
Ключевые слова = НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ПРОГРЕСС
Ключевые слова = КРЕМНИЙ
Ключевые слова = ДЕФЕКТ
Ключевые слова = КОМПОЗИТНЫЙ (КОМПОЗИЦИОННЫЙ) МАТЕРИАЛ
Ключевые слова = МАТЕРИАЛ
Ключевые слова = КОМПОНЕНТ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Новые поступления и ретрофонд = 2019
Новые поступления и ретрофонд = 2019 : 6 - Техника. Технологические процессы в отраслях промышленности

210659 ФБУ НТБ Минпромторга России Филиал на Иркутской Общий 621.3 В75