Электронный каталог

Статья

Макушин, М.
Повышение надежности выхода годных: традиционные и новые подходы / Макушин М., Мартынов В. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2019. – №5. – С.56-66. - 530854. – На рус. яз.

Возрастание актуальности задачи повышения надежности интегральных схем и выхода годных по мере масштабирования микроэлектронных технологий и освоения производства новых поколений приборов. Один из новейших подходов к увеличению выхода годных - использование технологий больших данных. Прогнозирование выхода годных. Факторы, влияющие на надежность и выход данных. Генерация топологической схемы. Процесс многократного формирования рисунка с самовыравниванием. Тестовые установки. Случайная генерация тестовых структур. Проектирование под эксперимент. Обнаружение случайных проводящих частиц. Обнаружение систематических проблем разрешающей способности. Большие данные как средство увеличения выхода годных в процессе производства. Изменчивость параметров процессов / приборов. Новые проблемы и пути их решения.


Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ИСПЫТАНИЯ
Ключевые слова = ТОПОЛОГИЯ (ТОПОГРАФИЯ)
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = НАДЕЖНОСТЬ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА
Ключевые слова = ДЕФЕКТ
Ключевые слова = БОЛЬШИЕ ДАННЫЕ