Электронный каталог

Статья

Брыкин, А.
Электроконденсационный метод синтеза кремния, углерода и карбида кремния / Брыкин А., Артемов А., Арсеньева Д. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2015. – №4. – С.74-79. - 409312. – На рус. яз.

Методы получения карбида кремния, на базе которого создаются приборы, работающие под воздействием высоких температур, радиации и химически агрессивных сред. Расширение спектра применения карбида кремния за счет новых перспективных направлений, таких как наноэлектроника. Основы электроконденсационного метода (ЭКМ) синтеза материалов. Получение карбида кремния, кремния и углерода с использованием ЭКМ. Результаты исследований показывают, что ЭКМ может стать основой новой эффективной технологии получения наночастиц кремния, углерода и карбида кремния. Дальнейшие работы по оптимизации режимов этого процесса.


Ключевые слова = КРЕМНИЙ
Ключевые слова = НАНОЧАСТИЦА
Ключевые слова = НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ РЕЖИМ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = УГЛЕРОД
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ