Электронный каталог

Статья

Симонов, О.
Атомно-слоевой осаждение - технология, меняющая мир / Симонов О. // Наноиндустрия. – 2015. – №4. – С.40-45. - 409133. – На рус. яз.

Основы технологии атомно-слоевого осаждения (АСО), запатентованной в 1974 г. в Финляндии доктором Туомо Сунтола, прочно занявшей позиции в промышленности. Преимущества метода АСО. Области и отрасли применения АСО. Актуальная научная задача - получение тонких пленок на наночастицах и нанотрубках, производство графена и другие перспективные направления. Общая мировая тенденция разработки и использования технологии АСО, число новых применений которой постоянно растет.


Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ РАЗВИТИЕ
Ключевые слова = НАНОЧАСТИЦА
Ключевые слова = НАНОУСЛУГИ