Электронный каталог

Статья

Майоров, Э.
Реализация нанотехнологии атомно-слоевого осаждения на оборудовании компании Beneq: от лаборатории к промышленности / Майоров Э. // Компоненты и технологии. – 2013. – 2013 №10. – С.153-158. - 251849. – На рус. яз.

Компания Beneq - аффилированное лицо группы "Роснано", производитель оборудования для нанесения тонких пленок по нанотехнологиям атомно-слоевого осаждения (Atomic Layer Desposition, ALD) и аэрозольных покрытий. Сущность технологии и ее актуальность, обусловленная возможностью управления свойствами материалов на атомарном уровне при нанесении слоев практически любого элементного состава, разной структуры и толщины для достижения требуемых характеристик. Спектр практических применений ALD: синтез материалов, применяемых в микро- и наноэлектронике, фотовольтаике, освещении (LED и OLED), оптике, медицине, ювелирном деле. Обзор оборудования, выпускаемого компанией Beneq.Принцип нанесения тонких пленок по технологии ALD. Схема роста пленочного покрытия. Промышленные ALD-установки на собственном производстве Beneq. Ключевые направления деятельности компании - поставка ALD-оборудования для промышленных целей, выпуск светодиодов, нанесение тонкопленочных покрытий. Фотография образца гибкой подложки с ALD-покрытием.


Ключевые слова = ВЫСОКАЯ ТЕХНОЛОГИЧНОСТЬ
Ключевые слова = ИННОВАЦИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = НАНОИНДУСТРИЯ
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ