Электронный каталог

Статья

Тодуа, П.
Нанометрология - основа устойчивого развития нанотехнологий / Тодуа П., Гавриленко В. // Наноиндустрия. – 2013. – №5. – С.6-18. - 253465. – На рус. яз.

Достоверные измерения размеров объектов и материалов, определение их нанометровой и субнанометровой структуры, играющие ключевую роль при исследованиях и опытно-конструкторских работах, а также при производстве продукции наноиндустрии. Одна из важнейших задач нанометрологии - обеспечение прослеживаемости измерений к единицам физических величин в системе СИ. Оценка современного уровня развития нанометрологии в области измерений объектов нанотехнологий. Тестовые объекты для калибровки электронных и атомно-силовых микроскопов. Спектроскопическая эллипсометрия. Приоритетные направления развития национальной стандартизации в нанотехнологиях.


Ключевые слова = ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ИЗМЕРЕНИЕ
Ключевые слова = РЕГЛАМЕНТАЦИЯ
Ключевые слова = НИР
Ключевые слова = НАНОМАТЕРИАЛЫ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = МЕТОДИКА
Ключевые слова = АТТЕСТАЦИЯ
Ключевые слова = СТАНДАРТ
Ключевые слова = НИОКР
Ключевые слова = МЕТРОЛОГИЯ
Ключевые слова = СТАНДАРТИЗАЦИЯ
Ключевые слова = НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
Ключевые слова = НАНОИНДУСТРИЯ
Ключевые слова = МЕТОДИКА ВЫПОЛНЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ (МВИ)
Ключевые слова = КРИСТАЛЛОГРАФИЯ