Электронный каталог

Статья

Трубицын, А.А.
Изотраекторные электронно- и ионно-оптические системы с угловой фокусировкой / Трубицын А.А., Дубков М.В., Тарабрин Д.Ю. // Успехи современной радиоэлектроники. – 2014. – 2014 №10. – С.57-63. - 297438. – На рус. яз.

Перспективы создания электронно- и ионно-оптических систем (ЭОС), построенных в соответствии с принципами нового направления науки "Изотраекторная оптика", к основным достоинствам которых относится полное отсутствие хроматических аббераций, являющееся предпосылкой построения электронных микроскопов с высоким уровнем пространственного разрешения. Развитие программных средств моделирования изотраекторных ЭОС. Численное установление свойства угловой фокусировки изотраекторных систем. Предложение схем с угловой фокусировкой, предназначенных для транспортировки и энерго- и масс-анализа потоков заряженных частиц, а также схемы устройства, предназначенного для диагностики поверхности объектов твердотельной микро- и наноэлектроники методами электронной оже-спектроскопии и масс-спектроскопии вторичных ионов.


Ключевые слова = ДИАГНОСТИКА
Ключевые слова = ИНСТРУМЕНТ
Ключевые слова = ИССЛЕДОВАНИЯ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = МОДЕЛИРОВАНИЕ
Ключевые слова = НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = НАУКА
Ключевые слова = ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = ОБЪЕКТ
Ключевые слова = ОПТИКА
Ключевые слова = ПРЕДЛОЖЕНИЕ
Ключевые слова = ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
Ключевые слова = СПЕКТРОСКОПИЯ
Ключевые слова = ТРАНСПОРТИРОВКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ