Электронный каталог

Статья

Холупова, К.
Разработчик российского литографа создаст суверенный электронный микроскоп на замену Hitachi: [электронный документ] / Холупова К. // CNews. – 2026. – №0. – 6 августа. - 654789. – На рус. яз.

Исполнитель контракта на создание промышленно-ориентированного сканирующего электронного микроскопа для контроля чипов - АО "Зеленоградский нанотехнологический центр" (ЗНТЦ), заключившее контракт на ОКР шифр "Инспектор" 6 июля 2026 г. с Минпромторгом на сумму 2,37 млрд. рублей. Оборудование предназначено для неразрушающего контроля и измерения критических размеров элементов топологического рисунка на поверхности кремниевых пластин - ширины линий, диаметров контактных отверстий, расстояний между элементами периодических структур и шероховатости края линии. Функциональные аналоги разрабатываемого оборудования - японские установки Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000, поставки которых в Россию заблокированы санкциями. Прямых отечественных аналогов не существует. Критические комплектующие: электронная пушка, электронно- оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки-выгрузки пластин, центральный контроллер и программное обеспечение - должны быть отечественного производства. Допуск применения импортных комплектующих только по согласованию с заказчиком.


Ключевые слова = ИМПОРТОЗАМЕЩЕНИЕ
Ключевые слова = ИНОСТРАННАЯ ПРОДУКЦИЯ
Ключевые слова = КОМПЛЕКТУЮЩИЕ
Ключевые слова = МИКРОСКОП
Ключевые слова = МИНПРОМТОРГ РОССИИ
Ключевые слова = НОВИКОВА Н.П.
Ключевые слова = ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = ПРЕДПРИЯТИЕ
Ключевые слова = РОССИЙСКАЯ ПРОДУКЦИЯ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ