Электронный каталог

Статья

Любавина, А.
В России создана технология многолучевой литографии, которая увеличит производительность при выпуске чипов примерно в 3000 раз: [электронный документ] / Любавина А. // CNews. – 2026. – №0. – 5 августа. - 654785. – На рус. яз.

Разработка российскими учеными технологии производства отечественного многолучевого литографа, который будет в тысячи раз производительнее обычного однолучевого и дешевле импортного многолучевого. Возможность его применения для выпуска передовых микросхем по топологии в несколько нанометров. Создание по завершению научно-исследовательских работ проекта устройства. Литограф с мультикатодом будет способен экспонировать кремниевую пластину за пять-семь минут вместо полутора-двух недель, как при использовании одного луча, что примерно в 3 тыс. раз быстрее. Проект в случае успешной реализации создания российского многолучевого литографа способен сократить зависимость российской микроэлектроники от зарубежного литографического оборудования и расширить возможности серийного выпуска чипов, в которых сейчас так нуждается индустрия.


Ключевые слова = ЗАРУБЕЖНЫЙ АНАЛОГ
Ключевые слова = ИМПОРТНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ
Ключевые слова = ИМПОРТОЗАМЕЩЕНИЕ
Ключевые слова = ИНОСТРАННАЯ ПРОДУКЦИЯ
Ключевые слова = ЛИТОГРАФИЯ
Ключевые слова = МИКРОСХЕМА
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = НИР
Ключевые слова = НОВИКОВА Н.П.
Ключевые слова = ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ
Ключевые слова = ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = РОССИЙСКАЯ ПРОДУКЦИЯ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ