Электронный каталог

Статья

В России создали суверенную установку электронно-лучевой литографии для выпуска чипов: [электронный документ] // CNews. – 2026. – №0. – 20 июля. - 654115. – На рус. яз.

Разработка АО "Зеленоградский нанотехнологический центр" (ЗНТЦ) - российский разработчик и производитель микроэлектроники и оборудования для ее производства - установки электронно-лучевой литографии и базовых технологических процессов формирования на фотошаблоне топологических элементов интегральных схем с проектными нормами 150 нм. Ключевая особенность установки - безмасковая литография. При прямой записи электронный луч, как сверхтонкое перо, наносит рисунок микросхемы непосредственно на пластине, покрытой фоторезистом. Использование такого оборудования логично при мелкосерийном производстве специализированных ЭКБ (для космической или оборонной промышленности). Удобны эти установки и для прототипирования и НИОКР, ускоряя процесс разработки и исследований.


Ключевые слова = ЛИТОГРАФИЯ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = НОВИКОВА Н.П.
Ключевые слова = ПРОТОТИПИРОВАНИЕ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ