Электронный каталог

Статья

Холупова, К.
"Дочка" "Росатома" получит больше миллиарда за установку для контроля производства чипов: [электронный документ] / Холупова К. // CNews. – 2026. – №5. – 15 июля. - 653941. – На рус. яз.

Разработка АО "НИИ НПО "ЛУЧ" (входит в "Росатом") установки контроля ионного легирования для полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм в рамках контракта на ОКР шифр "Контроль-ИИ", заключенного 3 июля 2026 г. с Минпромторгом России, со сроком выполнения до октября 2029 г. Сумма контракта - 1,348 млрд. рублей. Установка должна заменить американское оборудование KLA-Tencor (модели ThermaProbe TP500 и TP630), используемое для контроля доз легирования - ключевого процесса внедрения примесей в полупроводниковые пластины для создания транзисторов и диодов. АО "НИИ НПО "ЛУЧ" - научно-исследовательский институт, основанный в 1946 г., разработчик и изготовитель тепловыделяющих элементов (твэлов) для ядерных энергетических установок, активно участвующий в последние годы в проектах по созданию материалов для микроэлектроники.


Ключевые слова = ДИОД
Ключевые слова = ИМПОРТОЗАМЕЩЕНИЕ
Ключевые слова = ИНОСТРАННАЯ ПРОДУКЦИЯ
Ключевые слова = КОНТРАКТ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = МИНПРОМТОРГ РОССИИ
Ключевые слова = НИИ (НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ)
Ключевые слова = НИОКР
Ключевые слова = НОВИКОВА Н.П.
Ключевые слова = НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Ключевые слова = ПОЛУПРОВОДНИК
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = ЭНЕРГОУСТАНОВКА
Ключевые слова = ЯДЕРНАЯ ЭНЕРГЕТИКА
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ