Электронный каталог

Статья

Механик, А.
Микросхемам готовят отечественную печать / Механик А. // Эксперт (электронная версия). – 2022. – №12. – С.36-41. - 579305. – На рус. яз.

Ключевая технология, обеспечивающая возможность изготовления и развития микроэлектроники, - фотолитография. Разработка двумя зеленоградскими организациями по заказу Минпромторга России фотолитографов (степперов) для реализации разных проектных норм - от 130 до 28 нм и менее. Цель фотолитографии в микроэлектронике - формирование заданного изображения на кремниевой подложке для получения необходимой топологии микросхемы. Типы фотолитографии. Оптическая схема традиционной фотолитографии и EUV-фотолитографа. Деятельность и разработки Зеленоградского нанотехнологического центра и Центра коллективного пользования "Микросистемная техника и электронная компонентная база" при НИУ "Московский институт электронной техники". Сделать только фотолитограф - мало, необходимо, чтобы он стал частью всего комплекса оборудования, производство которого должно быть поддержанной соответствующей научной и производственной базой. Схема установки безмасочной рентгеновской литографии с управлением коэффициентом пропускания рентгеновского излучения. Технологический процесс изготовления микропроцессора.


Ключевые слова = ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ЗАКАЗ
Ключевые слова = ИМПОРТОЗАМЕЩЕНИЕ
Ключевые слова = МИКРОПРОЦЕССОР
Ключевые слова = МИКРОСХЕМА
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = МИНПРОМТОРГ РОССИИ
Ключевые слова = НАНОТЕХНОЛОГИИ
Ключевые слова = ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = ПРОМЫШЛЕННАЯ ПОЛИТИКА
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Ключевые слова = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Ключевые слова = Статьи из периодических изданий. 2022 год.