Электронный каталог

Статья

Макушин, М.
Некоторые проблемы современной метрологии в радиоэлектронике / Макушин М., Мартынов В. // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2020. – №2. – С.80-91. - 541483. – На рус. яз.

Новые проблемы метрологии и контроля. Средства мониторинга и контроля, встраиваемые в технологический процесс. Взаимодействие заводов по обработке пластин и поставщиков подсистем. Проблемы метрологии по мере масштабирования и освоения 3D-структур. Метрология критических размеров FinFET. основные технологии метрологии, используемые в лабораториях и заводских условиях. Метрология пленок. Новые решения метрологии микроэлектроники. Перспективные методики метрологии и тестирования с точки зрения повышения выхода данных.


Ключевые слова = 3D-ПЕЧАТЬ (АДДИТИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ)
Ключевые слова = АНАЛИЗ ОТРАСЛЕВОЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ СИСТЕМНЫЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ СИТУАЦИОННЫЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ СРАВНИТЕЛЬНЫЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ ТЕХНИЧЕСКИЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ УПРАВЛЕНЧЕСКИЙ
Ключевые слова = АНАЛИЗ ФАКТОРНЫЙ
Ключевые слова = ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ
Ключевые слова = ЗАРУБЕЖНЫЙ ОПЫТ
Ключевые слова = ИНОСТРАННАЯ ОРГАНИЗАЦИЯ (КОМПАНИЯ)
Ключевые слова = КОНТРОЛЬ
Ключевые слова = МЕТОДИКА
Ключевые слова = МЕТРОЛОГИЯ
Ключевые слова = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = МОНИТОРИНГ
Ключевые слова = ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
Ключевые слова = СТАТИСТИКА
Ключевые слова = ТЕСТ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЦЕЛЕСООБРАЗНОСТЬ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ОЖИДАНИЯ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ
Ключевые слова = ЭКОНОМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Новые поступления и ретрофонд = Статьи из периодических изданий. 2020 год.