Электронный каталог

Статья

Завадский, Ю.И.
Оптические свойства тонких металлических слоев / Завадский Ю.И., Концевой Б.Л., Резвый Р.Р. // Радиопромышленность. – 2014. – 2014 №4. – С.150-153. - 336345. – На рус. яз.

Определение методом эллипсометрии оптических постоянных тонких пленок титана и никеля в диапазоне толщин 14-22,5 нм, широко применяемых в технологии современных электронных приборов.


Ключевые слова = ИССЛЕДОВАНИЯ
Ключевые слова = МЕТАЛЛ
Ключевые слова = МЕТОДОЛОГИЯ
Ключевые слова = НИКЕЛЬ
Ключевые слова = ОПТИКА
Ключевые слова = ПАРАМЕТРЫ
Ключевые слова = ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Ключевые слова = РАСЧЕТЫ
Ключевые слова = РОССИЯ
Ключевые слова = ТЕХНОЛОГИЯ
Ключевые слова = ТИТАН
Ключевые слова = ЦВЕТНАЯ МЕТАЛЛУРГИЯ
Ключевые слова = ЭКСПЕРИМЕНТ
Ключевые слова = ЭЛЕКТРОНИКА
Ключевые слова = ТЕХНИКА. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ